一种显微状态下的数显位移测量装置

作者：谢行; 尚凯伦; 谢两可

来源：工具技术, 2012, (01): 83-84.

DOI：10.16567/j.cnki.1000-7008.2012.01.026

• 数显
• 数字显示
• 位移测量
• 显微镜
• 实验设备
• 装置

<正>1引言在进行微米级微距测量时,普通位移测量工具很难找到测量参考点,致使测量的准度和精度存在较大的偏差,而使用普通显微镜观察,则又不能进行位移测量。如果采用市场上基于成像技术的装置来进行测量,成本太高。基于这种情况,如果在显微镜

• 单位
  北京航天试验技术研究所