摘要

在商用原子力显微镜的基础上,开发了微纳尺度实时控制教学实验系统。该系统基于“快速原型”的原则进行构建,使用Matlab-xPC Target的宿主机-目标机结构实现实时控制器。通过在宿主机上进行Simulink编程,可以灵活地在目标机中实现自动控制算法,在目标机对原子力显微镜进行实时控制下,完成微纳尺度成像和刻写。该系统不仅有助于提高学生对自动控制原理、计算机控制系统、线性系统理论等课程的学习兴趣,深化对所学理论知识的理解,而且增进了学生对微纳尺度仪器与设备的认识。

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