低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能

作者：高晓明; 孙嘉奕; 胡明; 翁立军; 伏彦龙; 杨军; 谭洪根; 张良俊

来源：机械工程材料, 2013, 37(11): 55-59+63.

• 低温沉积
• 银铜薄膜
• 耐原子氧性能

采用多弧离子镀方法在低温(173K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较。结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其结构致密性;低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构,这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化,从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能。

• 单位
  中国科学院兰州化学物理研究所; 固体润滑国家重点实验室