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摘要
本发明公开了一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉,适用于低压到常压的反应环境。该反应炉包括：反应室；设置于反应室前端、通过管路与反应室并联连接的液态前驱体钢瓶和气体钢瓶；设置于反应室后端、通过管路与反应室连接的蝶阀和连接蝶阀的真空泵；其中,液态前驱体钢瓶上设有两根管路,一根通往大气,一根连接反应室,与反应室连接的管路上设有双通阀,所述液态前驱体钢瓶设于水浴或油浴装置中；气体钢瓶通过管路连接反应室,在连接管路上设有双通阀；所述蝶阀与反应室之间设有压力表,蝶阀两端并联有针阀。本发明操作简便,适用范围广,能有效避免传统鼓泡法、注射泵法带来的各种缺陷。
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