探针测试台X-Y工作台电机控制

作者：周豪

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(05): 64-67.

• 探针台
• X-Y工作台
• 电机驱动
• 步进电机
• 伺服电机

探针测试台测试晶圆效率的高低与步进精度、工作台控制的方法、稳定性及快捷性密切相关。介绍了探针测试台X-Y工作台常见类型和电机控制的一般原则,并提供了解决方案。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所