摘要
介绍了一台自主构建的适于微小尺寸零件制造的300mm×400mm×500mm三轴小型数控铣床,xyz工作空间尺寸为50mm×50mm×20mm,全闭环数控系统分辨率为0.05μm,能实现亚微米级加工精度.该机床关键部件采用高速空气静压电主轴、交叉滚柱支撑的高分辨率超精密滑台、永磁直线电机、CCD显微镜以及基于IPC的多轴运动控制卡,结合优化的插补控制策略及误差补偿机制,能实现三维复杂形面超精密微细切削加工的精度要求.初步调试后的加工试验结果显示,该铣床已经具有加工大深宽比meso尺度三维零件的能力.
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单位南京航空航天大学; 北京航空精密机械研究所