针对准规则斑图周期性的特点,创新的提出了一种基于迭代对称轴的准规则斑图基元分割方法。该方法以对称特征检测算法为基础,结合准规则斑图的对称轴及坐标,在确保基元图案完整的情况下,不断迭代对称轴坐标,直至得到包含完整最小基元的基元图案。实验结果表明,该方法能够较为准确的分割出基元图案,且不受准规则斑图构成形状的影响。当迭代对称轴次数为3次时,能够达到最佳的基元分割效果。
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