本文结合测量系统分析方法,对半导体集成电路测量系统的要素进行了分析,提出了针对宇航用集成电路的电测试质量评价方法。挑选了模拟电路和大规模数字集成电路2类电路中的2款典型器件进行了测量系统分析的应用,并给出其测量系统是否满足测试要求的结论,验证了测量系统分析方法在宇航用半导体集成电路测试质量评价中的有效性,其他元器件的电测试质量也可以借鉴该方法进行评价。
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