热处理对立方相结构Mg_(0.57)Zn_(0.43)O合金薄膜表面和组成的影响(英文)

作者：曹建明; 秦杰明; 张振中; 王立昆; 郑剑; 韩舜; 赵延民; 张炳烨; 张吉英; 申德振

来源：发光学报, 2011, (10): 973-976.

• MgZnO合金
• 热退火
• 表面形貌
• 晶粒尺寸 MgZnO alloy
• thermal annealing
• surface morphology
• grain size

MgZnO合金具有可覆盖日盲紫外波段的禁带宽度和晶格匹配的单晶衬底,是理想的日盲紫外探测材料。由于MgO和ZnO分属立方相和六角相,分相问题使高质量单一相MgZnO难以获得。热处理是提高薄膜结晶质量的有效手段。利用MOCVD方法制备了单一立方相Mg0.57Zn0.43O合金薄膜,研究了薄膜的退火行为对薄膜结构和光学性能的影响。研究发现,450℃的原生样品经过550,650,750,850℃氧气氛退火后,薄膜的结晶特性和表面形貌得到明显的改善。随着退火温度的增加,薄膜吸收截止边逐渐蓝移,带隙展宽。X光电子能谱分析发现,随着退火温度增加,Zn含量逐渐减小,这种现象被归结为组分蒸汽压的差异。在退火温...

• 单位
  中国科学院大学; 长春理工大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所