摘要

通过分析圆形通光孔径下动镜倾斜角度对干涉调制度和相位误差的影响,设计了定镜动态校正方案。传统的比例-积分-微分(PID)控制器严格依赖于动态校正系统的数学模型,在实际的闭环系统中无法精确获取模型所有参数。系统采用了模糊PID控制策略,选择模糊输入输出论域的隶属度函数,制定模糊规则库,再经过模糊推理、清晰化处理,给出了闭环控制系统实现方法。通过实验,验证了此种校正方法的可行性,有效地摆脱了对校正系统准确的数学模型的依赖,能够将激光干涉调制度从0.6提升到0.99,相位差降低到0.1°左右,且相对于传统PID控制,稳定性能较好、调整时间较短。

  • 单位
    中国科学院,安徽光学精密机械研究所; 中国科学院安徽光学精密机械研究所; 中国科学技术大学