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摘要
<正>磨粒加工是利用细粒度的磨粒或微粉工具对工件进行加工，以获得高加工精度和表面质量的方法，主要包括磨削、砂带磨、珩磨、研磨、抛光、磨粒流加工，以及由其发展出的能场辅助复合磨粒加工方法等。磨粒加工技术在集成电路、航空航天、高技术船舶、先进轨道交通、高性能医疗器械等领域高端装备关键构件加工中具有不可替代的重要作用。随着现代微电子、信息、光学等产业的快速发展，半导体基片、先进光学元件等关键构件的加工质量要求不断提升，带动了磨粒加工技术向着高精度、高效率、复合化、自动化、智能化和绿色化的方向发展，促使新的先进磨粒加工方法、工具与装备不断涌现。
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