摘要

<正>纳米氧化锌薄膜具有光电、压电、压敏和气敏等多种性质,使其在透明导体、发光元件、太阳能电池窗口、光波导器、单色场发射显示器、高频压电转换器、微传感器等方面具有广泛的用途[1~4]。ZnO是研究最早、应用最广的半导体气敏材料之一[5~7],在适宜