Ti6Al4V表面TiN/Ti复合膜的制备及摩擦学性能研究

作者：张敏; 李淑新; 蒋立; 范爱兰; 唐宾

来源：热加工工艺, 2012, 41(14): 148-150.

DOI：10.3969/j.issn.1001-3814.2012.14.042

• Ti6Al4V
• 磁控溅射
• 复合膜
• 摩擦学性能

采用直流磁控溅射法在Ti6Al4V表面制备TiN/Ti复合膜.分别用FESEM、GDEOS和XRD分析薄膜表面的成分及相结构;利用划痕仪分析膜基结合强度;通过球盘磨损机和轮廓仪测试磨痕形貌和磨损体积,评价膜层的摩擦学性能.结果表明,TiN/Ti复合膜表面致密光滑,呈金黄色金属光泽；膜基结合强度大于100N；表面镀有TiN/Ti复合膜的Ti6Al4V合金虽没有减磨作用,但提高了耐磨性.

• 单位
  太原理工大学