微纳米光学测量的严格耦合波分析方法

作者：李琪; 施玉书; 李伟; 黄鹭; 李适; 高思田^*; 张树

来源：计量科学与技术, 2020, (12): 3-11.

• 微纳尺度
• 光学测量
• 傅里叶空间
• 严格耦合波
• 二维周期结构

在微纳米尺度光学测量领域中,严格耦合波(RCWA)方法将光看作空间传播的电磁波,然后应用麦克斯韦方程组电磁边界连续条件,求解电磁波前向和后向衍射模型,并测量对应的透射和反射。在RCWA仿真中,首先对被测对象应用分层电磁模型,划分成多层不同几何尺寸及介电常数叠加结构,然后应用传输矩阵法计量不同衍射级数的电磁场,最后对空间电场和磁场分量进行合成,从而得到纳米几何结构准确的衍射场。

• 单位
  中国计量科学研究院