大气压下大间隙均匀介质阻挡放电等离子体表面处理装置

作者：潘云翔; 刘鹏; 彭行翠

来源：2019-09-29, 中国, CN201910930624.6.

本发明涉及一种大气压下大间隙均匀介质阻挡放电等离子体表面处理装置,包括封闭反应容器、设置于所述封闭反应容器内的工作电极以及与所述工作电极连接的纳秒脉冲电源(1),所述工作电极包括多个外层覆盖电极介质(6)、交替分布的低压电极(4)和高压电极(3),相邻电极间设置有用于固定待处理材料的固定槽(7),所述封闭反应容器包括进气口(2)和出气口(5),所述进气口(2)和出气口(5)之间形成S型气体流动通道。与现有技术相比,本发明能够实现放电间隙大于5mm的均匀介质阻挡放电且在放电过程中可以通入适当气体,同时,还具有放电间隙大、放电功率大、常压操作、对材料表面处理均匀等优点。

• 单位
  上海交通大学