薄膜材料的微波复介电常数测量

作者：金浩; 王德苗; 董树荣

来源：真空科学与技术学报, 2005, 25(z1): 27-31.

DOI：10.3969/j.issn.1672-7126.2005.z1.006

• 薄膜
• 微波测量
• 复介电常数
• 微扰

为了精确测量厚度在以1 μm以下薄膜材料的微波复介电常数,提出一种基于金属谐振腔微扰理论的测量方法和装置,对该方法进行了理论分析和实验验证,实验样品采用0.81μm厚度的MC-91(BaO-(SmNdLa)2O3-Bi2O3-TiO2)介质陶瓷薄膜,测试频率在2.4 GHz左右,对测量结果进行了误差分析,其相对误差＜7%,其中3%的误差是由薄膜厚度的测量误差引起的.

• 单位
  浙江大学