一种光学倾角传感器及倾角检测方法

作者:王振国; 尹海宏; 宋长青; 王志亮; 李宏伟; 杨永杰
来源:2023-07-28, 中国, CN202310949420.3.

摘要

本发明公开了一种光学倾角传感器及倾角检测方法,属于光学传感器领域。该光学倾角传感器包括待测工件、激光器、偏光镜、共振调制模块、聚光器和光电转换器,激光器用于产生单色入射光;偏光镜用于过滤所述单色入射光中s偏振单色光且让p偏振单色光通过;共振调制模块用于接收所述p偏振单色光照射在待测工件上形成的反射光并对反射光的强度进行调制生成反射光强度模拟信号;所述光电转换器用于将发射光强度模拟信号转换成数字信号。本发明解决了目前高精度光学传感器抗环境干扰信号能力差、非线性信号响应和光学传感器部件尺寸大的技术难题,实现在更小的器件尺寸上对待测工件的倾角的高精度抗干扰检测。