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摘要
材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命，分放气率的测量通过四极质谱计（QMS）测量的真空分压力计算得到。然而，QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低，从而影响碳氢化合物分放气率的测量准确度。针对该问题，文章对小孔流导法分放气率测量装置进行了优化改进，并提出了一种利用十二烷修正QMS质量歧视效应的方法。为验证方法的有效性，对两台QMS的质量歧视效应进行了修正，并选取聚四氟乙烯（PTFE）、氟橡胶（FKM）样品，测试了不同时刻碳氢化合物的放气率，结果表明，文章所提方法可以有效地降低QMS的质量歧视效应，另外，通过质量歧视修正后的碳氢化合物放气率较未修正时有明显上升，其中PTFE样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升19.78%、123.83%, FKM样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升31.91%、155.22%。
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