基于四极质谱计质量歧视效应修正的材料CxHy放气率测试方法研究

作者:王星辉; 成永军*; 董猛; 赵澜; 陈联; 冯天佑; 孙雯君
来源:真空科学与技术学报, 2023, 43(11): 938-946.
DOI:10.13922/j.cnki.cjvst.202306007

摘要

材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命,分放气率的测量通过四极质谱计(QMS)测量的真空分压力计算得到。然而,QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低,从而影响碳氢化合物分放气率的测量准确度。针对该问题,文章对小孔流导法分放气率测量装置进行了优化改进,并提出了一种利用十二烷修正QMS质量歧视效应的方法。为验证方法的有效性,对两台QMS的质量歧视效应进行了修正,并选取聚四氟乙烯(PTFE)、氟橡胶(FKM)样品,测试了不同时刻碳氢化合物的放气率,结果表明,文章所提方法可以有效地降低QMS的质量歧视效应,另外,通过质量歧视修正后的碳氢化合物放气率较未修正时有明显上升,其中PTFE样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升19.78%、123.83%, FKM样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升31.91%、155.22%。

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