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摘要
在不同氩氧比下,采用中频磁控溅射制备TiO_2薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和可见光光度计分别测试了TiO_2薄膜的晶体结构、表面成分及形貌和可见光透射谱。结果表明:在100℃的低温条件下,不同氩氧比例的TiO_2薄膜都是非晶结构,薄膜表面平滑致密,当氧氩流速比超过3:1后,薄膜成分接近于化学配比的TiO_2,薄膜的光学性能好,透射比较高,超过80%。
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在不同氩氧比下,采用中频磁控溅射制备TiO_2薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和可见光光度计分别测试了TiO_2薄膜的晶体结构、表面成分及形貌和可见光透射谱。结果表明:在100℃的低温条件下,不同氩氧比例的TiO_2薄膜都是非晶结构,薄膜表面平滑致密,当氧氩流速比超过3:1后,薄膜成分接近于化学配比的TiO_2,薄膜的光学性能好,透射比较高,超过80%。
