科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
为提升半导体专用设备的动力学性能，需要对其中的承载板进行结构优化，以确保该零件模态频率和质量满足使用要求。采用有限元软件对优化前的承载板进行模态分析，得到特定边界条件下的垂向模态频率。之后利用拓扑优化的方法，将承载板需要的垂向模态频率作为前提条件，将承载板质量最小化作为目标值，求解承载板的最优结构。根据拓扑优化后的结果，进行几何重构，计算表明优化后承载板的垂向模态频率和质量满足设计需求。
-
单位中国电子科技集团公司第四十五研究所
