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摘要
将前沿科研成果转化为本科开放性实验教学内容,设计了一种柔性应力传感器综合性实验。通过采用化学气相沉积法合成氧化锌(ZnO)微米线,并制备了基于单根微米线的压电应力传感器。通过实验结果发现,器件具有很好的稳定性和重复性,在2.17%的张应力下器件的敏感度计算为1149.63。实践表明,该综合性实验融合了材料生长、材料表征、器件制备与器件性能表征等多方面知识,不仅激发学生对专业知识的学习兴趣,同时也能够培养学生的自主学习能力、动手操作能力和创新思维能力。
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单位物理学院; 大连理工大学
