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摘要
本发明公开了一种基于涡旋光干涉图样精密位移检测系统,包括干涉图样生成模块、信号处理模块、单片机软件模块。光电二极管采集干涉信号送入信号处理模块处理；被测平面镜M2做直线微位移运动时,花瓣状干涉图样绕中心旋转。使用光电二极管采集干涉图样将其转换为光电流信号,传输至信号处理模块处理,最后将滤波后的信号以及辨向细分后的数据采集进单片机处理模块,计算出精密微位移量并在LCD上进行显示。本发明通过光电二极管采集光信号并进行信号处理的方式,实现对干涉图样旋转角度的测量,从而实现了对微小位移的精密、高速测量,解决了现有技术通过CCD相机进行图像采集存在的无法准确测量位移变化较大或速度较快时的测量精度问题。
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