摘要

<正>随着微电子技术的高速发展,人们对电子产品的要求越来越高,虽然蕊片的集成度已经达到了一定程度,但是,对于线路的设计要求,也是越来越高的。在微电子技术发展的同时,各行业对微电子器件的需求量与日俱增,但微电子生产速度却受到极大限制。很多单位及科研机