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摘要
本发明实施例公开一种基于空间载波的三方向剪切散斑干涉系统,包括：激光器、第一透镜、三组束器组、成像器件；所述第一透镜设置在所述激光器与被测物之间,所述激光器发出的光束经所述第一透镜照射在被测物上,所述被测物反射光经所述三组束器组后在所述成像器件上成像；其中,所述三组束器组中每一组束器组包括分束器、合束器、第二透镜及孔径光阑,所述第二透镜及所述孔径光阑设置在所述分束器与所述合束器之间光路上。本发明实施例将被测物分成三束光路成像到像面上,并且相互干渉,从而通过单个相机对被测物进行三方向同步剪切散斑检测。
- 单位
