波型结构样品二次电子发射的Monte Carlo模拟

作者：KHAN Muhammad Saadat Shakoor; 邹艳波; 李超; 丁泽军

来源：中国科学技术大学学报, 2019, 49(1): 79-86.

DOI：10.3969/j.issn.0253-2778.2019.01.011

• 扫描电子显微镜
• Monte Carlo
• 二次电子

模拟扩展到具有平滑弯曲形貌的波形结构样品.MC模拟模型用Mott截面描述电子的弹性散射以及基于完全Penn算法的介电函数理论描述电子的非弹性散射.综合考虑了不同实验因素,如电子束能量,几何参数和材料性质对波型结构样品CD-SEM线扫描曲线的影响;计算表明,随着样品结构高度的降低,二次电子的两个侧边峰可以合并成一个中心单峰,该特征为平滑线状结构样品的关键尺寸表征带来了新的挑战.

• 单位
  新疆师范大学; 中国科学技术大学; 中国科学院; 电子工程学院