特高压晶闸管径向变掺杂新技术

作者：吴飞鸟

来源：信息记录材料, 2019, 20(07): 28-29.

DOI：10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2019.07.016

• 径向变掺杂
• 压降
• 流通能力

分析了特高压晶闸管的体内耐压及双负角造型下表面耐压机理。基于台面减薄工艺发展了径向变掺杂技术。该技术在芯片不降低阻断电压前提下厚度极薄化,制造并测试了传统平面结扩散及采用径向变掺杂技术的样品,测试结果显示,采用径向变掺杂技术的样品压降、流通能力及各动态参数均有很大的提高。

• 单位
  西安电力电子技术研究所