介绍了表面硬质涂厚度检测的5种方法及其检测原理,并对类金刚石(DLC)涂层进行了厚度的检测试验,结果表明该5种检测方法都可以用来检测DLC涂层的厚度。通过5种涂层厚度测量方法的对比分析,确定了不同零件状态下DLC涂层厚度的检测方法。