发展中的MOEMS压力传感器

作者：李晓延

来源：传感器世界, 2004, (08): 12-14.

DOI：10.16204/j.cnki.sw.2004.08.002

• 微型光机电系统
• MOEMS
• 光学压力传感器
• 压力传感器
• 阵列 MOEMS
• optical pressure sensor
• pressure sensor
• array

微型光机电系统(MOEMS)技术是一门新兴的技术,其应用涉及光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面,而利用这种技术制作的光学压力传感器更是具有传统压力传感器无可比拟的优点。本文着重介绍了MOEMS压力传感器的结构、工作原理以及制作工艺,并简要介绍了MOEMS压力传感器阵列的结构和制作工艺。

• 单位
  北京信息科技大学