折射型红外微透镜阵列器件的发展及制备

作者：刘丰; 张帆; 边浩; 杨青; 李敏静; 陈烽^*

来源：激光与光电子学进展, 2020, 57(07): 98-113.

• 红外波段
• 微透镜
• 微透镜阵列
• 红外成像

光学器件的小型化、集成化是现代光学系统发展的重要趋势。在微小光学器件中,阵列化折射成像微光学器件主要包括微透镜阵列器件等,广泛应用于成像、计量、波束整形等领域。针对红外波段成像、计量测量、激光加工等领域的特殊应用需求,红外波段工作的微透镜阵列器件受到了广泛重视,并得到迅速发展。总结了红外微透镜阵列器件的发展及制备方法,包括使用不同材料、不同制造方法制备红外微光学器件,以及红外微透镜阵列器件在红外波段成像、计量、并行加工、光束匀化方面的应用,分析了红外微透镜阵列器件及其制造方法存在的挑战与机遇。

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 西安交通大学