一种基于微波法珀谐振腔的高精度位移传感器

作者：赵刚; 马畅; 张琦^*; 陈静; 向芸芸; 王一燚

来源：传感器与微系统, 2022, 41(11): 105-108.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)11-0105-04

• 位移传感器
• 谐振腔
• 内外导体
• 反射点
• 谐振波长

提出了一种基于微波谐振原理的高精度位移传感器。位移传感器由内导体、外导体、第一反射点、第二反射点和谐振腔构成。两个高反射点构成谐振腔，位移变化改变了谐振腔的腔长，进而改变了谐振波长和谐振频率，通过测量谐振波长大小即可确定位移。此外，弹簧和顶珠结构使得位移在缓慢变化过程中，传感器可达到全量程没有跳数。实验结果表明：在30 mm量程范围内，传感器分辨率1μm,谐振波长变化量与位移的比值为-1.928 7。同时研究了位移传感器的温度影响。传感器具有机械鲁棒性强、低温度依赖性、低成本、高精度等优点。

• 单位
  通信与信息工程学院; 上海大学