摘要

研究电感特性随磁场变化的响应机制具有很重要的应用价值及研究意义。该文主要基于原有矢量网络分析仪和探针台,对薄膜电感测试系统增加磁场测试的功能,并编写自动化测试软件,从而测试在不同磁场下制备在YIG片子上的薄膜电感的高频性能随磁场的响应特性。