13.9和19.6nm正入射Mo/Si多层膜反射镜的反射率测量

作者：李敏; 董宁宁; 刘震; 刘世界; 李旭; 范鲜红; 王丽辉; 马月英; 陈波

来源：光学精密工程, 2008, (09): 1666-1672.

• Mo/Si多层膜反射镜
• 反射率测量
• 表面粗糙度
• 极紫外光源
• 激光等离子体光源 Mo/Si multilayer mirror
• reflectivity
• surface roughness
• Extreme Ultraviolet(EUV) source
• Laser Produced Plasmas(LPP) source

为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组建了一套适合反射率测量的实验装置,利用此装置测量了实验室制备的多层膜反射镜的反射率。测量之前对单色仪进行了标定并对光源稳定性进行了测量,结果显示,波长准确度是0.08 nm,光源信号抖动范围<5%,光源稳定性好。反射率测量结果显示,实验室能够制备出中心波长分别是13.91和19.60 nm的Mo/Si多层膜反射镜,相应反射率分别为41.9%和22...

• 单位
  应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所