10μm小间距红外探测器的铟柱生长研究

作者：张鹏; 李乾

来源：激光与红外, 2020, 50(10): 1218-1222.

DOI：10.3969/j.issn.1001-5078.2020.10.011

• 红外探测器
• 铟柱
• 小间距

在10μm小间距的条件下进行红外探测器的铟柱生长工艺,会得到铟柱高度不足的结果;本文针对这种情况,开展了小间距的铟柱生长研究,比较了在不同基片温度和蒸发速率条件下的铟柱高度,并分析了试验结果,得到了最优的生长工艺条件。

• 单位
  华北光电技术研究所