锐钛矿型TiO2薄膜的研究进展

作者：杨德威; 杨培志^*

来源：云南师范大学学报(自然科学版), 2020, 40(02): 15-22.

• 锐钛矿型TiO2
• 薄膜制备方法
• 物相结构
• 原子层沉积
• 研究进展

二氧化钛薄膜是一种重要的半导体材料,在传感器、光催化和太阳电池等领域具有广阔的应用前景.二氧化钛薄膜的制备方法决定了其物相结构、物理化学性质、光学和电学特性.简要介绍了二氧化钛的物相结构,综述了锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备方法,分析讨论了它们各自的优缺点,展望了其未来的发展趋势.

• 单位
  云南师范大学