微波等离子体电子密度大，电子温度高，在材料合成、有害气体消解、光谱分析等领域有着广泛的应用前景。本文提出了一种新型的组合谐振腔微波等离子体炬，利用一个微波源通过功分器后分别激励两个不同的谐振腔，微波馈入谐振腔后，在谐振腔内产生驻波，在驻波波腹处电场强度最大完成等离子体的激发，实现在较小微波输入功率、大气压下的空气击穿并形成大体积的等离子体火焰。通过对谐振腔结构尺寸优化，使谐振腔内的电场强度达到激励和维持微波等离子体的要求。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
