前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响

作者：宋源; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏

来源：中国光学, 2014, 7(01): 105-111.

• 变包含角平面光栅单色器
• 热负载
• 聚焦常数
• 分辨率
• 斜率误差

针对变包含角平面光栅单色器前置平面镜(PM)受热负载而导致的单色器分辨率降低问题,提出优化聚焦常数(C ff)补偿分辨率的方法。首先,计算不同C ff值时PM的热功率吸收谱,在此基础上对镜面热负载进行热-结构耦合分析,得到不同热负载时PM表面热变形的变化量;然后,结合理想分辨率公式和光线追迹软件求出加热负载的单色器分辨率;最后,优化C ff实现分辨率的补偿。研究结果表明,以软X射线谱学显微光束线站为例,当出射光能量为1 000 eV时,将C ff由1.8优化至1.84,单色器分辨率即可与无热负载时的相同,该优化方法可有效补偿单色器分辨率的降低。

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室