氮化镓基LED结温测量方法研究

作者:冯慧玮; 荣玉; 叶斯灿; 刘震; 卢澳; 李金晓; 闫大为
来源:微电子学, 2022, 52(06): 1096-1100.
DOI:10.13911/j.cnki.1004-3365.210417

摘要

分别研究了脉冲电流法、微小电流法和光学成像法测量氮化镓基LED结温的基本原理,并对比了不同方法的结果可靠性。结果表明:在大脉冲电流下,串联电阻效应不可忽略,脉冲电流法得到的平均结温偏低;微小电流法能够减小加热电流和测试电流的切换时间和串联电阻效应,提高测量准确性;光学成像法基于发光强度与结温的依赖关系,能够获得器件温度的空间分布,有助于制备高性能的LED。

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