在高计数率背景下,采用数字慢三角成形处理算法的高性能硅漂移探测器X荧光光谱全能峰受到伪峰严重干扰。介绍了一种新型的剔除伪峰干扰的方法,详细阐述了该方法中数字三角形成形、信号甄别和伪峰判断等技术要点。以55Fe核素和岩石样品为实验对象,对比伪峰剔除前和剔除后得到的X荧光能谱,结果证明该方法能够较好地消除谱线图中的伪峰。因而,在精细X荧光能谱分析时,该方法能够提高能谱的峰背比和痕量元素的分析精确度。