钼金属在离子减薄制样仪样品夹具材料中的应用

作者：陈小平; 邓小娟^*

来源：分析测试技术与仪器, 2020, 26(02): 95-100.

DOI：10.16495/j.1006-3757.2020.02.003

• 钼金属
• 样品夹
• 离子减薄制样仪

针对离子减薄制样仪的样品夹具易污染、变形失效等问题,提出了以钼金属替代普通不锈钢作为夹具材料,结合实践进行验证.结果表明:使用钼金属为夹具材料显著提高了离子枪及其重要部件的寿命,减少了工作舱的污染及样品间的交叉污染,提高了减薄样品的质量及其结构和元素分析的真实性,具有重要的应用价值.

• 单位
  天津大学