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摘要
如何实现非球面高效、低成本、超精密加工是目前超精密加工领域的研究热点。现有基于材料去除原理的非球面超精密加工方法依赖于高精度、高刚度的机床系统,加工成本较高;而基于面形复制原理的非球面精密模压方法属于热加工过程,在加工过程中会使工件材料的折射率等光学性能参数发生改变。为此,本文提出一种新型的非球面加工方法——弹性变形面形复制加工方法:在工件材料强度范围内,使平板形工件毛坯发生线弹性变形并与负形靠模接触至紧密贴合,靠模面形与目标非球面形相反;工件未与靠模贴合的表面加工至平面;工件脱离靠模并弹性回复后,被加工表面形成与目标非球面相同的面形。从而以平面加工方式实现薄形轴对称非球面零件的快速超精密加工...
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