<正>(接2021年第6期88页)3.4中频磁控卷绕镀膜中频磁控卷绕镀膜是利用中频磁控溅射技术来实现卷绕镀膜的方法。中频交流磁控溅射通常采用两个尺寸大小和外形相同的靶并排布置或相对摆放,称为孪生靶。将双极脉冲中频电源的二个输出端连接到二个靶上,如图18所示。二个磁控靶交替地互为阴极、阳极,即当其中有一个磁控靶处于负电位作为溅射阴极时,
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