随着微电子行业的蓬勃发展,越来越多的洁净室起重机投入使用,该类设备的检验需求量也越来越大。总结了洁净室的主要标准和对空气洁净度的基本要求,归纳了洁净室起重机相对于常规起重机在配置方面的特点。结合检验实践,讨论了TFT-LCD厂房洁净室起重机定期检验方案的制定,指出了该类设备现场检验时的注意事项,有利于更好地完成该类设备的检验工作,对安装于类似洁净室的起重设备的检验和维保工作有参考价值。
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