溶胶–凝胶法制备Pb(Zr_x,Ti_(1–x))O_3薄膜研究进展

作者：王锡彬; 熊杰; 郭培; 朱聪; 陶伯万

来源：电子元件与材料, 2012, (07): 70-75.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2012.07.012

• Pb(Zrx
• Ti1–x)O3
• 铁电薄膜
• 综述
• sol-gel法 Pb(Zrx
• Ti1-x)O3
• ferroelectric thin films
• review
• sol-gel method

Pb(Zrx,Ti1-x)(PZT)铁电薄膜因具有优良的铁电性、压电性、热释电性和声光性能而受到广泛关注,其电、光性能与其制备过程密切相关。简要介绍了PZT薄膜制备工艺流程,系统地从前驱体溶液、摩尔比r(Zr:Ti)、热处理工艺、电极材料以及掺杂改性等五个方面概述了sol-gel法制备PZT薄膜的研究进展,并指出了目前sol-gel法制备PZT铁电薄膜研究中存在的一些问题以及未来的研究方向。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学