化学分析技术在冶金表面分析中的应用

作者：余卫华; 李杰; 李江文; 于录军

来源：冶金分析, 2023, 43(08): 1-9.

DOI：10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.012061

• 化学分析
• 表面分析
• 辉光放电发射光谱
• X射线荧光光谱(XRF)
• X射线光电子能谱(XPS)
• 电化学分析

介绍了化学分析和物理测试之间的区别，指出化学分析方法能进行定量表面分析；概述了选择性溶解法、电化学溶解法、X射线荧光光谱法(XRF)等化学分析方法在表面分析中的应用。重点论述了辉光放电发射光谱技术在表面分析中的应用和实例，它不但能给出试样元素含量在深度方向上的分布，还能结合相的特征给出特殊相的厚度。利用其快速逐层剥离的特点，也可用于扫描电镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)等物理表面分析手段的试样预处理。