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摘要
本文采用热丝CVD法在硬质合金基体上制备金刚石薄膜,研究喷砂加刻蚀、过渡层两种预处理工艺对金刚石薄膜结合力的影响。对预处理后硬质合金基体表面的形貌和粗糙度分析,并通过扫描电子显微镜、X射线衍射、拉曼光谱及洛氏硬度计表征金刚石薄膜的形貌、结构及性能。结果表明AlCrN过渡层能阻挡Co的扩散,提高了金刚石的纯度,但金刚石膜的内应力较大,结合力差。喷砂和刻蚀复合预处理不仅能提高金刚石的结晶质量和纯度,金刚石薄膜的结合力也得到改善。
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单位广州今泰科技股份有限公司; 材料科学与工程学院; 华南理工大学
