在本文中，我们提出了一种基于非对称马赫-曾德干涉（Asymmetric Mach-Zehnder interference:AMZI）和3D打印立体光刻树脂模块的大量程压力传感器。分析了传感器的特性，公式表明传感器的灵敏度与单臂长度成正比，与衍射阶数成反比。在我们的设计中，高灵敏度是通过小的衍射级实现的。AMZI压力传感器采用平面光波技术制造，压力块采用树脂（DM11）3D打印。测试灵敏度为0.3047nm/MPa。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
