利用计量型原子力显微镜进行纳米台阶高度测量

作者：陈治; 高思田; 卢明臻; 杜华; 崔建军; 胡小唐

来源：纳米技术与精密工程, 2008, (04): 288-292.

DOI：10.13494/j.npe.2008.060

• 计量学
• 纳米计量
• 原子力显微镜
• 台阶高度
• 测量不确定度 metrology
• nanometrology
• atomic force microscope
• step height
• measurement uncertainty

计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成.针对计量型原子力显微测量系统,采用三维激光干涉测量系统作为测量基准,以实现原子力测量系统的纳米尺度量值溯源和校准工作.建立了校准模型,分析了扫描器9项主要误差项,并将该模型应用到原子力显微镜扫描器的校准中.校准后的结果表明,除x轴位置误差不超过±2,nm外,其他8项的残余误差均不超过±1,nm.通过台阶高度国际比对,建立了台阶高度标准计算方法及不确定度分析模型.台阶高度国际比对的测量结果表明,计量型原子力显微镜的测量值与参考值相差均小于1.5,nm.

• 单位
  精密测试技术及仪器国家重点实验室; 中国计量科学研究院; 天津大学