光电行业洁净间VOCs扩散特性及处理工艺研究

作者：何军民

来源：产业创新研究, 2020, (14): 107-109.

• 光电行业
• VOCs
• 效率和能耗
• 经济效益

光电行业生产过程所产生的有机挥发物不仅对人体产生危害,也成为影响产品品质的关键问题之一。本文综合论述了洁净间环境VOCs来源、扩散及浓度分布特性、处理工艺等,并结合案例分析了沸石吸附处理环境VOCs工艺中脱附温度和脱附时间对VOCs处理效率和能耗以及对整体运行经济效益的影响。