插入NiCr合金层对SnO₂/Ag/SnO₂多层结构透明导电薄膜热稳定性的影响

作者：郑思龙; 祝柏林; 易昌鸿; 王崇杰; 吴隽

来源：功能材料, 2022, 53(02): 2167-2173.

DOI：10.3969/j.issn.1001-9731.2022.02.025

• 氧化物/金属/氧化物多层膜
• 透明导电性
• 退火处理
• 热稳定性
• 品质因子

室温下通过磁控溅射技术制备了SnO2/Ag/SnO2（SAS）、SnO2/Ag/NiCr/SnO2（SANS）和SnO2/NiCr/Ag/NiCr/SnO2（SNANS）三类多层膜。采用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、霍尔效应测量仪和紫外-可见分光光度计研究了大气和真空退火温度与薄膜结构、形貌和透明导电性能的关系。结果表明，随着退火温度升高，薄膜的结晶程度及透明导电性能先增强后下降，薄膜的粗糙度先下降后上升。插入NiCr合金层提高了薄膜的热稳定性，且在Ag层两侧插入厚的NiCr合金层时薄膜热稳定性最优。而薄膜在真空环境下比在大气环境下的热稳定性更优。450℃真空退火后，SNANS（1 nm NiCr）薄膜平均透光率（400～800 nm）为90.31%,电阻率为8.21×10-5 Ω·cm,品质因子为3.87×10-2Ω-1。

• 单位
  武汉科技大学