钨粉颗粒级配对氧化铝陶瓷金属化方阻的影响

吴茂; 陈晓伟; 曹车正; 赵聪; 何新波; 曲选辉

摘要

选取3种平均粒径分别为0.2、0.5和1μm的钨粉,将任意2种钨粉按一定的质量比混合后与氧化铝陶瓷共烧,得到氧化铝陶瓷的金属化层,研究钨粉颗粒级配对氧化铝陶瓷金属化方阻的影响。结果表明,钨金属化层的方阻与其烧结致密化程度直接相关,钨金属化层越致密,其表面方阻越低。单独使用其中1种粒度的钨粉与氧化铝陶瓷共烧时,金属化方阻较高。将0.5μm和1μm钨粉混合能显著降低方阻,当两者质量比为45:55时得到的金属化方阻最小(12.10 m/□)。混合钨粉的累积分布曲线符合Dinger-Funk粉体堆积公式,分布模数n越接近0.37,其烧结致密化程度越高,金属化方阻越低。

单位
北京科技大学; 新金属材料国家重点实验室

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更新时间：2020-06-17 01:50

钨粉颗粒级配对氧化铝陶瓷金属化方阻的影响

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